超大规模集成电路
超大规模集成电路
ISBN: 9787030202789
出版社: 科学
出版年: 2007-11
页数: 309
定价: 42.00元
内容简介
《超大规模集成电路:基础?设计?制造工艺》共分为上下两篇，上篇为基础设计篇，主要介绍VLSI的特征及作用、VLSI的设计、逻辑电路、逻辑VLSI、半导体存储器、模拟VLSI、VLSI的设计法与构成法、VLSI的实验等；下篇为制造工艺篇，主要介绍集成工艺、平板印刷、刻蚀、氧化、不纯物导入、绝缘膜堆积、电极与配线等。
关键词：超大规模集成电路