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ISBN: 9787563916696
出版社: 北工大
出版年: 2006-12
页数: 285
定价: 46.00元
本书系统介绍主流光刻技术——光学投影光刻的工作原理、系统组成、应用和发展前景，详细介绍投影光刻物镜、掩模硅片对准、激光定位工件台、分辨力增强技术以及整机集成。