SOI技术: 21世纪的硅集成电路技术

ISBN: 9787030037572

出版社: 科学出版社

出版年: 1993

页数: 215

定价: 7.9

装帧: 20cm

内容简介

书名原文:Silcon-on-insulator technology

内容提要 本书包括:SOI材料、SOI材料的表征技术、SOI MOSFET、SOI电路等8章。

题名 Silcon-on-insulator technology

主题 绝缘衬底上外延硅MOS集成电路